De vacuümklep is een belangrijk apparaat voor vloeistofregulatie in een vacuümomgeving door precisieafdichting en aandrijfregeling. Het werkmechanisme kan worden onderverdeeld in de volgende kernmodules:
1. Kernwerkmechanisme
SEAL PARTITION
Door de All-Metal Ballows Dynamic SEAL (in plaats van traditionele verpakking) aan te nemen, breiden de balg uit en samentrekken wanneer de klepsteel beweegt om de luchtdichtheid van de vacuümkamer te handhaven, en de leksnelheid is kleiner dan of gelijk aan 1 × 10⁻¹⁰ PA · m³/s.
Wanneer de poort is gesloten, vormt deze een moleculaire pasvorm met de spiegelgepolijste klepstoel (RA kleiner dan of gelijk aan 0,2 μm) en werkt samen met de afdichtingsring van de koperen legering om het contactafdichtingseffect te verbeteren.
Drive Control
Manual Type: Wormwar -versnellingsbak, de balg wordt op en neer gereden door het handwiel te roteren en het koppel is kleiner dan of gelijk aan 15n · m4.
-Elektrisch type: stappenmotoraandrijving, positioneringsnauwkeurigheid van 0,01 mm, geschikt voor halfgeleiderwafeltransmissiesysteem.
Pneumatisch type: perslucht drijft de cilinderzuiger aan, de responstijd is<1s, and it is used for emergency isolation of spacecraft vacuum chambers.
Drukbalans
De kleplichaam is uitgerust met een KF16 Auxiliary Air Extraction Port. Voordat u wordt geopend en gesloten, wordt een onafhankelijke vacuümpomp gebruikt om het drukverschil tussen de klepholte en het systeem (AP ＜ 10Pa) in evenwicht te brengen om luchtstroomstoornissen te voorkomen.
2. Typische werkmodus
| Modus | Werkingsproces | Sollicitatie |
|---|---|---|
| " | De poort drukt volledig op de klepstoel om een dubbele afdichting te vormen (balg + contactoppervlak) | Deeltjesversnellerstraalbuisisolatie |
| Stroomregeling | De opening van de klepplaat wordt geregeld op 10%-90%en de lineaire stroomregeling wordt bereikt via de V-vormige throttling-groove | Gasinjectie voor het vacuümcoatingproces |
| Snelle snit | Pneumatische actuator activeert noodopvalprocedure, responstijd kleiner dan of gelijk aan 0,3s | Nucleaire fusie -apparaat lekkage noodsituatie |
| Drukonderhoud | Gekoppeld met de vacuümmeter wordt de klepopening automatisch verfijnd om de set vacuüm graad te behouden (± 0,5 pa) | Simulatiekamer van de ruimteomgeving |
3. Materiaal- en proceskenmerken
Vals body: 316L ultra-lage koolstof zonder roestvrij staal elektrolytisch polijsten, waardoor het gasadsorptieoppervlak met meer dan 60% wordt verminderd
SEALENDE COMPONENTEN: HASTELLOY C-276 BELLEMEN (bestand tegen 100.000 vermoeidheidscycli) + Zuurstofvrije koperen afdichtring (Vickers Hardheid HV80)
Surface Treatment: afdichtingsoppervlak ionen sputtering titaniumplating (dikte 2μm), wrijvingscoëfficiënt gereduceerd tot 0,08.
4. Vergelijking van het toepassingsscenario
| Veld | Kleptype | Vacuümvereisten | Speciale behoeften |
|---|---|---|---|
| Halfgeleiderproductie | Elektrische hoge vacuümklep | Minder dan of gelijk aan 1 × 10⁻⁷ PA | Resistent tegen bakken van 150 graden, nul deeltjesafgifte |
| Ruimtevaartuig testen | Pneumatische snelle sluitingsklep | Minder dan of gelijk aan 1 × 10⁻⁵ PA | Trillingsweerstand (20-2000Hz) |
| Synchrotron stralingsbron | Vloeistofgekoelde poortklep | Minder dan of gelijk aan 1 × 10⁻⁹ PA | Vloeibare stikstofkoeling (-196 graden) |
| Kernfusieapparaat | Stralingsbestendige isolatieklep | Minder dan of gelijk aan 1 × 10⁻⁴ PA | Neutronen bestralingsweerstand (10¹⁹ N/cm²) |
5. Parameters voor prestatielimiet
Temperatuurbereik: -269 graden (vloeibaar heliumkoeltype) tot 450 graden (type hoge temperatuur)
Diameterbereik: Microventiel φ6 mm tot grote vacuümkamerklep φ1200mm
Life Index: Belllows afdichtingsassemblage groter dan of gelijk aan 50.000 openings- en sluitingscycli